宏微驅動回轉進給系統(tǒng)研究.pdf

1、宏微驅動技術是隨著超精密技術的需求應運而生的。由于該技術能滿足較大的運動范圍和較高的運動精度要求，所以它被廣泛的應用于微電子、航空航天、軍事等高科技領域。國內外對宏微驅動的直線進給技術研究比較多，但作為主要運動形式之一的回轉運動，宏微驅動技術在此的技術研究卻很少。
　　本文在對國內外相關宏微技術文獻的研究基礎上，設計了一套可將直線微動轉換為回轉運動的回轉進給系統(tǒng)，用運動學方法計算分析微動機構運動轉換特性，通過實驗檢驗其傳動特性，分

2、析計算其承載特性，并對相關宏動回轉軸進行檢測實驗。本文的主要研究內容包括:
　　(1)在大量查閱國內外文獻的基礎上，提出宏微驅動回轉進給系統(tǒng)的設計方案，完成系統(tǒng)的結構設計;
　　(2)分析該系統(tǒng)的特性，對其重點研究內容進行規(guī)劃;
　　(3)用運動學方法分析計算微動機構的運動轉換特性，并用實驗檢驗其傳動特性，最后用有限元分析其傳動轉換特性;
　　(4)用雅克比矩陣分析計算微動機構的承載特性，并用實驗檢驗微動機構的剛