基于SOI的聲光調制器件的研究.pdf

1、聲光器件特別是硅基聲光器件在集成光學領域有重大的意義，其具有體積小、驅動功率低、易于集成等特點，被廣泛應用于光通信、光傳感、光信息處理等領域，尤其是表面波型聲光器件因為其獨特的優(yōu)勢越來越受到人們的重視，隨著光集成技術的發(fā)展，聲光器件也在向集成化、小型化、功能化方向發(fā)展。
　　基于以上思想，本文的目的在于:硅基上聲光調制器件的研究，重點研究了基于SOI的Mach-Zehnder聲光調制器，具體研究內容如下：
　　1.從聲光調制

2、器的基本理論出發(fā)，分析了聲波激發(fā)過程中應用的壓電效應及叉指電極的設計方法，并且詳細介紹了聲表面波的基本理論及其激發(fā)原理，闡述了聲光效應的基本原理。
　　2.闡述Mach-Zehnder聲光調制器的基本原理，提出一種改進的Mach-Zehnder聲光調制器設計方案，采用COMSOL Multiphysics模擬軟件，首先對新提出的結構進行分析;進而研究了波導類型、波導寬度、氧化鋅厚度及叉指對數等因素對聲光調制效率的影響，并對聲光調制

3、器的結構參數進行了優(yōu)化以提高其性能。仿真結果表明，當條波導寬度為6μm，氧化鋅只覆蓋有叉指電極的部分且厚度為2.2μm，控制叉指電極數目為50對時，波導有效折射率變化在驅動電壓為1V時可以達到4.08*10-4，比傳統結構提高了12％。為了使調制效果更加的明顯及測試損耗等相關參數，設計了一種環(huán)形諧振腔聲光調制器。
　　3.開展了硅基聲光調制器的實驗設計，介紹了實驗過程中需要用到的工藝，在流片的基礎上采用兩次套刻、兩次濺射、兩次剝離