基于PLC的多晶硅熔煉爐控制系統(tǒng).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本論文所研究的多晶硅熔煉爐主要由真空控制系統(tǒng)，溫度控制系統(tǒng)和機械傳動控制系統(tǒng)三部分組成。真空控制系統(tǒng)主要負責保持爐體內部真空度達到工作要求。溫度控制系統(tǒng)主要負責控制爐內溫度按照設定的溫度曲線運行。機械傳動部分負責爐底散熱板的精確位置控制。這三個部分的相互協(xié)調合作共同保證了多晶硅長晶過程順利完成。
　　目前，可編程控制器(PLC)和組態(tài)應用以及通訊技術在工業(yè)控制領域十分熱門。由于PLC的高速發(fā)展，PLC的優(yōu)點越來越突出，比如，應用方

2、便、可靠性高、抗電磁干擾性能好，環(huán)境適應性強、完善和成熟的工控網絡體系，這使得PLC在工業(yè)自動控制過程中得到了越來越廣泛的應用。組態(tài)軟件作為一個開放性的軟件平臺，可以使用戶根據自己需要搭建特定功能的人機界面，用戶通過人機界面和PLC可以直觀簡便地控制自動化設備。
　　本系統(tǒng)中由PLC和組態(tài)軟件共同完成現場設備數據的采集以及對閥門、伺服電機、中頻電源等設備的控制。爐底的散熱板的位置控制通過伺服電機完成。利用組態(tài)軟件Kingview良

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