基于數(shù)字散斑剪切干涉術的三維面型測試.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、數(shù)字散斑剪切干涉術是起源于散斑干涉且應用廣泛的干涉檢測方法，將數(shù)字圖像處理和散斑剪切干涉術結合在一起，測量精度能達到幾十納米，可檢測復雜物體的面型。
　　本文探究了基于數(shù)字散斑剪切干涉術的物體面型的三維測試技術。實驗采用泰曼-格林光路系統(tǒng)，通過旋轉反射鏡的方法，使物光束散斑場發(fā)生偏轉，再由CCD記錄偏轉前、后物光束和參考光束的干涉場。存儲到計算機中，對采集到的散斑干涉圖用MATLAB軟件進行相減運算，得到物體面型的散斑剪切干涉條紋

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