SMA微驅動器及雙穩(wěn)態(tài)MEMS繼電器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文研究了一種微驅動器及繼電器,其設計原理采用基于機械操縱觸點導通的機電方式,制作采用MEMS微細加工工藝,單個器件的整體尺寸僅為10mm×5mm×1mm(硅基底上制作)。它主要由對稱分布的兩個微驅動器和對稱結構的永磁雙穩(wěn)態(tài)結構構成。微驅動器驅動后推動中間的十字形扭梁,可以實現(xiàn)兩端電路通斷的切換；通過下部永磁體和磁回路結構,可以實現(xiàn)電路閉合時的穩(wěn)態(tài)的保持,從而實現(xiàn)低功耗的雙穩(wěn)態(tài)機制。本文使用射頻磁控濺射法在硅片上濺射沉積了TiNi形狀記

2、憶合金(shape memory alloys,簡稱SMA)薄膜,測試表明該薄膜具有比較好的形狀記憶效應。在此基礎上,通過Ansys仿真設計并制作了一種TiNi/Si復合膜結構和一種TiNi/PI復合膜結構的微驅動器。TiNi/Si復合膜結構的微驅動器的測試結果表明,在室溫下,微驅動器的懸臂梁是平直的,在2.0V脈沖電壓,1~6HZ工作頻率下,微驅動器的懸臂梁可以產生驅動,達到良好的驅動效果,此時功耗為20mW。最后在以上研究的基礎上,

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