壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器特性研究及二維微納定位平臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì).pdf

1、微納定位技術(shù)是現(xiàn)代高新科技和現(xiàn)代工業(yè)中的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，在精密制造、超精測(cè)量和微操縱等諸多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。近年來(lái)，現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)和工業(yè)的不斷發(fā)展，對(duì)微納定位技術(shù)提出了大行程、高精度、小體積和快速響應(yīng)等更高的要求，其中對(duì)定位精度和分辨率的要求達(dá)到了納米量級(jí)。微納定位技術(shù)的水平反映了一個(gè)國(guó)家的科技發(fā)展?fàn)顩r和綜合實(shí)力，開(kāi)展微納定位技術(shù)的相關(guān)研究，對(duì)促進(jìn)我國(guó)先進(jìn)制造、超精密加工與測(cè)量、國(guó)防軍工等高新技術(shù)行業(yè)的快速發(fā)展有著重大而深遠(yuǎn)的意義。

2、>　　 論文在綜述國(guó)內(nèi)外關(guān)于微納定位平臺(tái)系統(tǒng)研究與應(yīng)用現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)圍繞壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的基本特性、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器遲滯非線(xiàn)性建模方法、二維微納定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)與分析、二維微納定位平臺(tái)系統(tǒng)的構(gòu)建等方面展開(kāi)理論分析和實(shí)驗(yàn)研究.
　　 第一章介紹微納定位技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域、微納定位平臺(tái)系統(tǒng)的構(gòu)成及各組成部分的特點(diǎn)，然后闡述壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器基本特性和微納定位平臺(tái)的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀，最后介紹本論文的課題來(lái)源和主要研究?jī)?nèi)容。
　　 第二章

3、通過(guò)分析壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的工作原理，設(shè)計(jì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的預(yù)載荷加載裝置，實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)器的定量和安全加載。針對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的力--位移特性、電壓--位移特性、輸出重復(fù)性、輸出蠕變特性和溫度特性等基本特性，進(jìn)行理論分析和實(shí)驗(yàn)研究.
　　 第三章主要闡述用于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器遲滯非線(xiàn)性建模的Preisach模型的建立，重點(diǎn)研究應(yīng)用線(xiàn)性插值法和BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)方法對(duì)Preisach函數(shù)X(α，β)值進(jìn)行求解的方法，并通過(guò)仿真和實(shí)驗(yàn)研究對(duì)兩種方法的求