雙直線電機驅(qū)動的H型運動平臺控制研究.pdf

1、硅片臺是光刻機等IC制造裝備的核心部件之一,主流的硅片臺結(jié)構(gòu)都采用H型布局,因此研究H型精密運動平臺具有十分重要的意義,本文主要研究H型精密運動平臺的運動控制問題。
　　首先,本文詳細介紹雙直線電機驅(qū)動的H型運動平臺的結(jié)構(gòu)特點,闡明H型運動平臺運動控制的基本框架,對H型運動平臺進行力學模型簡化和假設,使用Matlab/Simulink/SimMechanics建立運動平臺的精確動力學模型,分析其運動特性及控制難點;
　　其次

2、,針對這樣一個高速度、微進給和低阻尼的直接驅(qū)動系統(tǒng),使用超前校正和PI調(diào)節(jié)相結(jié)合的方法,設計了三環(huán)控制系統(tǒng),使用前饋控制器減小跟隨誤差,設計速度信號干擾觀測器減小干擾對系統(tǒng)精度的影響;
　　最后,在完成單軸直線電機控制系統(tǒng)設計的基礎(chǔ)上,針對雙邊驅(qū)動的兩臺直線電機發(fā)生的不同步運動現(xiàn)象,分析其不同步運動的誤差來源,設計基于位移和加速度前向補償?shù)姆椒A測負載波動的大小,極大的減小了質(zhì)心偏移導致的同步運動誤差,設計模糊反饋補償控制器減小前