基于AFM和DIC的納米尺度變形測量技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著微納加工技術的不斷發(fā)展，針對材料微觀力學特性和微結構的力學分析的要求不斷提高。當微結構變形時表面位移僅有微米級大小，傳統(tǒng)力學實驗方法的取樣分辨率和靈敏度都很難達到要求。因此，需要開展有關微納米尺度變形的研究?；趯嶒炇椰F(xiàn)有原位拉伸試驗裝置與原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope, AFM)，使其與數(shù)字圖像相關方法(Digital Image Correlation, DIC)相結合，從而由 AFM圖像直接得到材

2、料的微觀變形特性的定量分析。
　　首先，為評價 DIC應用的可行性，使用了 DIC分析人為已知變形的AFM圖像，比較了計算結果，將 DIC應用于宏觀 CCD顯微鏡下的原位拉伸試驗，分析了焊接件的力學特性，評價了 DIC應用于原位拉伸實驗的可行性。
　　之后，針對 AFM本身，由于關鍵部件掃描陶管具有掃描非線性特性與磁滯效應，掃描過程會給DIC計算帶來誤差。通過 AFM的校準過程來減小測量誤差，并對誤差進行了評價，分析了適用于

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