基于PDMS的納米光柵的工藝研究.pdf

1、光柵作為一種非常重要的光學(xué)元件，被廣泛應(yīng)用于集成光路、光通信、光學(xué)互連、光信息處理、光學(xué)測(cè)量等領(lǐng)域中。目前，光柵的應(yīng)用多集中在納米尺度，所以納米光柵制備工藝的研究有著十分重要的意義。
　　目前，制作納米光柵的方法多種多樣。但是，已有的納米光柵加工工藝，如全息光刻、電子束光刻、離子束光刻、X射線光刻等，所使用的設(shè)備往往比較昂貴、復(fù)雜、難以控制，而且工藝條件苛刻，制作成本高、周期長(zhǎng)，而飛秒激光直寫(xiě)法、雙光束干涉法可用來(lái)制作周期為幾百納

2、米的光柵，但是制作出來(lái)的納米光柵平直性不好，光路復(fù)雜，工藝過(guò)程不好控制。
　　針對(duì)這些問(wèn)題，本文提出了一種全新的納米量級(jí)光柵的制作工藝。首先，利用傳統(tǒng)光刻方法，制作出周期在微米級(jí)別的光柵母模，然后利用彈性材料PDMS進(jìn)行翻模復(fù)制，并對(duì)PDMS薄膜進(jìn)行拉伸，使得其表面的內(nèi)嵌式光柵結(jié)構(gòu)周期變小，之后利用PMMA對(duì)其進(jìn)行復(fù)制。反復(fù)多次，即可得到納米光柵。利用該方法，我們得到了線寬在納米級(jí)別的光柵結(jié)構(gòu)，并進(jìn)行了相關(guān)測(cè)試，效果良好。