共基面二維掃描同步計量工作臺研制.pdf

1、精密二維掃描工作臺是三維表面形貌測量儀器的重要基礎(chǔ)。研制定位精度高、運動面平面度高、運行平穩(wěn)的高性能精密二維掃描工作臺對于提高三維表面形貌儀器性能具有重大意義。為此，本文研究共基面二維掃描工作臺，研究基于透射式雙正交衍射光柵二維位移同步計量技術(shù)，建立了共基面二維掃描同步計量工作臺。
　　 論文首先采用特殊的機械結(jié)構(gòu)設(shè)計，提出了共基面二維掃描工作臺結(jié)構(gòu)方案。該方案使得二維掃描工作臺的導向面處于同一平面上，實現(xiàn)了二維共基面掃描，有效

2、保證了二維掃描平面精度。并用有限元分析軟件ANSYS分析了該結(jié)構(gòu)方案的關(guān)鍵受力部件的變形及應(yīng)力，闡述了零部件的選型及參數(shù)設(shè)計方法。
　　 其次，提出了基于透射式雙正交光柵衍射干涉原理，實現(xiàn)二維位移同步計量方案。論文從波動光學角度，分析論述了透射式雙正交光柵衍射干涉及實現(xiàn)二維掃描位移同步計量的原理，并基于其光路特點設(shè)計了計量系統(tǒng)的支撐結(jié)構(gòu)，給出了條紋信號的接收及計數(shù)的電路處理方案，實現(xiàn)計量系統(tǒng)的二維位移計量功能。
　　 第