光刻機掩模臺動力學建模與分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、掩模臺作為光刻機核心單元之一,具有快速步進、超精密定位等功能,這對掩模臺的動力學特性提出了非常高的要求。但是掩模臺零部件眾多,連接關系復雜,因此建立掩模臺動力學模型并進行動力學分析是一項具有挑戰(zhàn)的工作。
　　本文對掩模臺進行結構簡化并進行子結構劃分,提出了以多剛體離散元法為基礎的掩模臺整機動力學建模策略。以結構有限元模態(tài)分析結果為依據,采用多剛體離散元法描述掩模臺子結構的結構柔性,并通過實驗驗證了所建模型的準確性;分別采用流體有限

2、元分析方法與理論公式辨識了掩模臺中氣浮軸承和空氣彈簧等關鍵連接件的動力學參數;進一步在 ADAMS中建立了掩模臺整機的動力學仿真模型。
　　利用所建仿真模型,對掩模臺進行模態(tài)分析,獲取了整機的主要振動特性,并通過參數靈敏度分析對掩模臺的模態(tài)頻率優(yōu)化提出了結構改進方案。通過掩模臺步進運動時的俯仰振動響應分析,提出了直線電機驅動方式以及隔振消振系統(tǒng)設計方案的改進措施。
　　在有限元分析、理論計算以及實驗測試的基礎上建立的掩模臺動

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