電介質(zhì)薄膜材料微波性能參數(shù)測試方法研究.pdf

1、隨著科學技術(shù)的發(fā)展，電路和元器件正朝著薄膜化、集成化的方向發(fā)展。電介質(zhì)薄膜材料作為薄膜材料，正因順應(yīng)這一發(fā)展趨勢而得以廣泛地研制和應(yīng)用。目前電介質(zhì)薄膜材料的應(yīng)用已進入微波頻段，因此，在微波頻段準確地測試電介質(zhì)薄膜材料微波電磁參數(shù)對薄膜材料的研制和微電子器件、電路的設(shè)計是至關(guān)重要的。本文對電介質(zhì)薄膜材料的測試技術(shù)進行了系統(tǒng)的研究，提出了相應(yīng)的測試方法。主要內(nèi)容如下： 1.通過對國內(nèi)外相關(guān)技術(shù)的分析，依據(jù)電介質(zhì)薄膜的物理特性，確定了

2、共面波導結(jié)構(gòu)測試方案，并對測試過程中出現(xiàn)的幾種共面波導結(jié)構(gòu)進行了準靜態(tài)分析。 2.在諧振法上，確定了測試夾具的等效復(fù)介電常數(shù)與測試參數(shù)之間的關(guān)系，并從測試夾具的等效復(fù)介電常數(shù)中提取出電介質(zhì)薄膜材料的復(fù)介電常數(shù)。建立了由矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、轉(zhuǎn)接頭、測試電路、耦合裝置、加壓裝置和固定裝置組成的諧振法測試系統(tǒng)。并在在1～4GHz的頻率范圍內(nèi)，對多個電介質(zhì)薄膜材料進行了測量。 3.在傳輸法上，采用去嵌入方法確定了測試夾具的等效復(fù)介電