飛秒激光并行微加工技術研究.pdf

1、飛秒激光微加工技術與傳統(tǒng)的微加工技術相比具有明顯的優(yōu)勢：飛秒激光脈沖持續(xù)時間超短，加工時熱影響極小，提高了加工質量；超強的峰值功率可以激發(fā)材料的雙光子/多光子吸收效應，使其加工分辨率可以突破衍射極限，提高了加工精度；而且飛秒激光可以深入透明材料內部進行加工，具備加工復雜三維結構的能力。因此，飛秒激光微加工被廣泛應用于工業(yè)加工、微電子、光通信、光信息和生命科學等領域。
　　 隨著飛秒激光微加工工藝的不斷發(fā)展，人們發(fā)現(xiàn)，橫向逐點掃描

2、法加工區(qū)域不對稱和加工效率不高是比較突出的兩個問題。本論文針對這兩個問題，在前人工作的基礎上，進行了研究。
　　 1. 通過在聚焦物鏡前增加預聚焦透鏡的方法對橫向逐點掃描法進行改進，對改進前后所加工波導的橫截面對稱性和導光特性進行對比，對改進效果進行了研究。
　　 2. 發(fā)展了同一層面上及不同層面上并行微加工方法，搭建了并行微加工系統(tǒng)，在硅玻璃中寫入微結構，研究了幾個常用參數(shù)對兩種并行微加工結果的影響，對兩種并行微加工的