輻射場型壓電薄膜驅動器的優(yōu)化設計.pdf

1、壓電微位移驅動器在精確定位與微控制等方面有廣泛的應用前景。與其它驅動器向比，它具有體積小、分辨率高、響應速度快、可控精度高、散熱小、低能耗、無電磁干擾等優(yōu)點。由于以上優(yōu)點，壓電微位移驅動器得到了國內外的廣泛重視。輻射電場型壓電薄膜RFD(Radial field diaphragm)作為一種新型的壓電微位移驅動器，有很大的研究價值。
　　 本文采用有限元分析與實驗測試相結合的方法，對RFD的結構參數進行優(yōu)化。主要研究內容包括以

2、下幾個方面：
　　 (1)對壓電晶體的力學、電學性能進行了討論和研究了。從壓電效應出發(fā)，對壓電驅動的原理進行了闡述；
　　 (2)利用有限元理論，考慮壓電材料的壓電效應，對壓電元件的機電耦合有限元方程經行詳細的推導；
　　 (3)利用Ansys11.0有限元軟件，對RFD結構進行仿真分析，考察RFD結構參數的影響因素，給出優(yōu)化參數；
　　 (4)制作不同結構參數的RFD并且進行實驗測試，得到RFD壓電驅動