基于超磁致伸縮驅動的膠液噴射分配器研究.pdf

1、微電子封裝技術的迅猛發(fā)展,帶動了封裝設備制造業(yè)的發(fā)展,作為封裝工藝中的關鍵設備,膠液分配系統(tǒng)也得到了迅速發(fā)展。膠液噴射分配技術因其突出的優(yōu)點而受到重視以及得到越來越廣泛的應用。稀土超磁致伸縮材料是一種新型的功能材料,磁致伸縮應變大、響應速度快、能量密度高等是該類材料的顯著特點,因其優(yōu)異的性能、良好的應用前景,而得到世界各國學者的關注。但是目前為止國內外并無把超磁致伸縮材料應用與微電子膠液噴射系統(tǒng)的研究,此次研究對超磁致驅動應用于膠液噴射

2、器方面做了初步探索。
　　本文對膠液噴射器在不同噴針行程和加速度參數(shù)下進行了數(shù)值仿真,并對仿真結果進行了對比,分析了小行程,大的加速度噴射的優(yōu)越性。然后本文對小行程大的加速度下,膠液噴射分配器的其它參數(shù)進行了仿真比較,對比了不同參數(shù)對膠液噴射的影響。由于超磁致伸縮驅動能同時滿足小的噴針行程和大的加速度的特點,本文構思了一種基于超磁致伸縮驅動的膠液噴射分配器。本文對超磁致伸縮驅動膠液噴射分配器的驅動系統(tǒng)、位移放大機構和噴射器進行了設

3、計計算。本文還用有限元方法對激勵磁場和偏置做了數(shù)值仿真,得出了超磁致伸縮棒的激勵磁場強度和偏置磁場強度分布情況,確定了線圈輸入電流的大小。
　　本文通過研究得出以下結論:較小膠液噴射分配器的噴針行程和較大噴針加速度,可以實現(xiàn)更高的膠液噴射精度以及實現(xiàn)更大粘度的膠液噴射;超磁致伸縮驅動線圈選定為1000匝,電流為2A,從而可以實現(xiàn)在超磁致伸縮棒內20KA/m的磁場強度;為了避免超磁致伸縮棒的倍頻現(xiàn)象,應設計偏置線圈,偏置線圈設計也為