精密磁頭封裝精度檢測系統(tǒng)設計與研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、哈爾濱工業(yè)大學碩士學位論文精密磁頭封裝精度檢測系統(tǒng)設計與研究姓名：趙志強申請學位級別：碩士專業(yè)：機械電子工程指導教師：王昕20051201墮查鎏三些奎蘭三蘭堡主蘭堡篁奎AbstractWiththedevelopmentofthesemiconductorproductionindustry，manynewtechniquesonsemiconductorpackagingarecomingforthTherequirmentsfort

2、heprecisionproductionbecomehigherandhigerThetraditionaldetectingmethodonsemicondutorpackagingcannotsarisfythehigherprecisionofthenewpackagingtechniquesNowthecomputervisioninspectingsystemhasagreathelptopromotetheautomati

3、zationofthesemiconductorproductionsystem，andisusedwidelyinthisfieldInthisthesis，theinspectingsystembasedoncomputervisiontechniquesisdesignedtoinspectthepackagingprecisionofanewtypeheadplateAndthestructure&theoryofthemach

4、inevisionhavebeendiscussedModularizedmethodisproposedInthehardwaresystem，ahighprecision2Dplatformhasbeenusedtobuildthecarrier，withthecontrolofcomputerandSCMThesystemcouldacquireimagesofsampleatanybeginningposition，andifo

5、nlytheparametersofimagehavebeensetproperly，thesystemcouldautomaticallyinspecttheheadplatecontinuallyAnadaptivemorphologicalfilterbasedon2DimageentropyisusedtopreprocesstheoriginalimagesThehighprecisionimagemosaicbasedont

6、heimagegrayscalecurveisrealizedTheimagegrayscaleweightreconstructionmethodbasedonthepixelareadistributioncharactersimprovetheimagequalityandtheinspectingprecisionThusthedetectingsystemprecisionisjUSIdependedonthecomputer

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