視網(wǎng)膜上假體多通道雙層柔性薄膜微電極陣列的設(shè)計(jì)與測(cè)試.pdf

1、視網(wǎng)膜上假體可以分為外部裝置和內(nèi)部裝置,其中內(nèi)部裝置包括了神經(jīng)接口模塊,即刺激視網(wǎng)膜神經(jīng)細(xì)胞的微電極陣列。作為電子器件與視網(wǎng)膜上的神經(jīng)組織的接口界面,微電極陣列是整個(gè)視網(wǎng)膜上假體系統(tǒng)中相當(dāng)關(guān)鍵的部分,對(duì)視覺(jué)感知的有效性和準(zhǔn)確性起到了關(guān)鍵作用。近年來(lái),隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝的迅猛發(fā)展,柔性薄膜微電極的研究突破了許多瓶頸,刺激電極的性能和植入的安全性都有了很大的提高。本文對(duì)視網(wǎng)膜上假體的柔性薄膜微電極陣列進(jìn)行研究,基于MEMS雙層工

2、藝設(shè)計(jì)了多通道的雙金屬層薄膜電極,并且通過(guò)電化學(xué)實(shí)驗(yàn)評(píng)估了電極的性能。本文的主要研究?jī)?nèi)容包括:一、分析了國(guó)際上視覺(jué)假體的研究小組所采用的不同類型的微電極,基于我們的研究小組的課題需要,設(shè)計(jì)并制作了用于視網(wǎng)膜上修復(fù)的64通道的雙層柔性薄膜微電極,給出了詳細(xì)的設(shè)計(jì)依據(jù)和參數(shù),通過(guò)MEMS技術(shù)制作了基于鉑材料的電極,并進(jìn)行了引線焊接和封裝。根據(jù)制作和初步測(cè)試的反饋,提出了基于金材料的薄膜電極的優(yōu)化設(shè)計(jì)。二、研究了三電極法的測(cè)試原理,針對(duì)傳統(tǒng)的