納米級微定位平臺的設(shè)計及實驗研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文以納米級磨削微定位平臺的開發(fā)為目標,以動態(tài)設(shè)計理論、有限元方法、機械動力學理論等為手段,較深入地研究了納米級三自由度微定位平臺的結(jié)構(gòu)設(shè)計、動力學建模以及有限元分析等關(guān)鍵技術(shù)問題. ◆通過對四種二次曲線截面的柔性鉸鏈的理論計算和有限元分析,比較分析了它們的力學特性. ◆基于動態(tài)設(shè)計理論,研制了一臺具有姿態(tài)調(diào)整能力的納米級磨削輔助微定位平臺.該微定位平臺采用多壓電陶瓷驅(qū)動器并聯(lián)直接驅(qū)動方式,有效地提高了進給方向上的靜、動

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