亞波長(zhǎng)周期介質(zhì)光柵的偏振特性的研究.pdf

1、本文為了分析亞波長(zhǎng)周期介質(zhì)光柵的衍射特性，采用FDTD(時(shí)域有限差分)方法，在三維直角坐標(biāo)系下，以30nm為網(wǎng)格大小，PML(完全匹配層)為吸收邊界條件，以一維FDTD隨時(shí)間逐步推進(jìn)的方式引入入射波，對(duì)于周期為240nm占空比為0．5材料為n=1．35的透光玻璃介質(zhì)的亞波長(zhǎng)周期介質(zhì)光柵，以1550nm為波長(zhǎng)偏振角度為45°的平行光進(jìn)行入射在深度分別為120nm，150nm，180nm,210nm的條件下所得到的衍射場(chǎng)進(jìn)行了模擬計(jì)算，得到

2、了電場(chǎng)不同方向上分量的大小和相對(duì)相位延遲，發(fā)現(xiàn)對(duì)于亞波長(zhǎng)周期介質(zhì)光柵，其衍射性質(zhì)與入射光的偏振狀態(tài)相關(guān)，平行于光柵的電場(chǎng)分量相對(duì)相位延遲總是大于垂直于光柵的電場(chǎng)分量的相對(duì)相位延遲，對(duì)于其偏振變換性質(zhì)進(jìn)行了探討。提出了電子束光刻與反應(yīng)離子束刻蝕相結(jié)合的手段來(lái)制作亞波長(zhǎng)介質(zhì)光柵，這種方式可以獲得較高的刻蝕精度，在電子束光刻后，然后采用濕法腐蝕的辦法將感光膠上的圖形轉(zhuǎn)移到沉積在石英片上的鉻膜上，最后由反應(yīng)離子束刻蝕將圖形轉(zhuǎn)移到石英片上。分析了