基于探針測試儀的電參數測試.pdf

1、隨著集成電路的快速發(fā)展,對測量其上的半導體器件各種參數要求越來越高,其中電壓和電阻是主要的測量對象。目前探針測試儀采用多探針法測量電參數的方法應用比較廣泛,而傳統(tǒng)的探針測試儀測量效率較低、精度低和測量的參數較少。因此需要開發(fā)一套基于探針測試儀的高性能測量儀器。
　　 本論文論述了國內國外的半導體測量儀的發(fā)展狀況,在改造后的ST-103A探針測試儀的基礎上并結合單片機技術和人機界面技術組成了一套測量電參數的測量系統(tǒng)。該儀器的主要功

2、能是對貼片元器件進行電參數(電壓、電阻)測量和功能測試,操作簡便,工作效率高和成本低等特點。
　　 在自動控制方面,引入了步進電機來控制探針平臺在X、Y和z軸上的移動,實現了探針平臺的移動自動化,X、Y軸的步進分辨率可以達到0.0095mm,移動的速度可達1.9mm/s；在視頻監(jiān)控方面,引入視頻監(jiān)控系統(tǒng)后,操作者可以在PC機上清楚地觀察載物臺移動和測量情況；在測量電路方面,設計了電壓測量電路和電阻測量電路,可以對貼片元器件的電參

3、數(電壓、電阻)實現精確測量,測量的精度可達12位,其中電壓測量電路的測量電壓范圍為.10V～10V:編寫串口通信模塊使PC機能夠與單片機實現實時通信:設計人機控制界面方便操作者在PC機上控制探針測試儀的測量活動。
　　 本論文的特點是:基于改造后的探針測試儀測試貼片元器件的電參數,并在下位機系統(tǒng)中加入了視頻監(jiān)控和步進電機控制技術,在上位機中使用了MFC設計人機界面,操作者通過人機界面控制探針測試儀可以有效的提高測試效率和可靠性