復合量程微加速度計溫度補償的研究.pdf

1、近年來，隨著我國國防事業(yè)，工業(yè)，環(huán)境保護，自動控制等行業(yè)的高科技產業(yè)化發(fā)展，硅微加速度計的發(fā)展也因其體積小，高可靠性，易于集成，可大規(guī)模大批量生產等特點處于一個上升階段。其發(fā)展對增強二十一世紀軍事和民用領域的技術進步起著至關重要的作用。硅微加速度計的精度在很大程度上受溫度的影響，因此硅微加速度計的溫度補償技術在當前國內慣性技術研究領域成為了重要課題。本文在研究了現階段國內外各種溫度補償技術后，針對我們所做的復合量程微加速度計，采用了硬件

2、電路補償與軟件算法補償相結合的方法，把重點放在其溫度漂移的零位漂移和靈敏度漂移上，更好的實現硅微加速度計的精確性測量。本文主要內容分以下四步：
　　1.分析了復合量程加速度計的溫度漂移，提出了一種結合硬件電路與軟件算法的補償方法，可以更加準確的采集電壓信號，使電壓信號不受外界環(huán)境變化的影響，具有良好的動態(tài)響應，軟硬件相互輔助共同解決外界環(huán)境溫度引起的問題。
　　2.設計系統基于DSP的硬件補償電路，主要包括電橋平衡電路、加速

3、度信號采集電路和溫度信號采集電路及其他外圍電路的設計。
　　3.設計系統的軟件程序，主要包括主程序、加速度信號采集程序、溫度信號采集程序、A/D轉換程序及RS232串行通信程序。
　　4.設計系統的控制算法。把最小二乘算法和牛頓插值法有機結合，改善系統的特性。
　　本文在分析了整個溫度補償電路的設計思路后，結合加速度傳感器的自身特點，深入研究了各種補償思想，分析能夠實現高精度補償的原因，并設計出電路補償模塊，最后成功地