基于激光波數(shù)間斷掃描干涉測(cè)量系統(tǒng)的研制及曲面輪廓三維測(cè)量.pdf

1、在復(fù)合材料檢測(cè)和超高精度加工領(lǐng)域，曲面三維輪廓測(cè)量技術(shù)被越來(lái)越多的科研工作者所重視，占據(jù)的地位也越來(lái)越重要。在這種超高精度的測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域通常使用的技術(shù)都是基于激光干涉檢測(cè)原理的測(cè)量技術(shù)。激光波數(shù)掃描干涉測(cè)量技術(shù)是檢測(cè)被測(cè)樣件的曲面三維輪廓的激光干測(cè)量的方法之一，也是目前檢測(cè)領(lǐng)域的重要發(fā)展方向。在激光波數(shù)掃描干涉測(cè)量時(shí)，主要是靠激光控制器調(diào)制激光二極管發(fā)出一束頻率穩(wěn)定的激光，通過(guò)調(diào)制激光，來(lái)達(dá)到波數(shù)掃描的目的。但是在調(diào)制激光器的時(shí)候，激光

2、二極管由于自身硬件的原因，極容易產(chǎn)生模跳的問(wèn)題，而激光波數(shù)掃描干涉測(cè)量技術(shù)是檢測(cè)領(lǐng)域的一種超高精度測(cè)量技術(shù)，測(cè)量精度可以達(dá)到納米級(jí)別，所以這種模跳問(wèn)題是致命的，嚴(yán)重影響測(cè)量的精度。與此同時(shí)，CCD相機(jī)成像時(shí)，若使用普通的鏡頭，也有可能使拍攝的干涉圖像產(chǎn)生畸變，也對(duì)此實(shí)驗(yàn)精度產(chǎn)生較大影響。所以針對(duì)于上述的問(wèn)題，本文主要使用下述方法對(duì)問(wèn)題進(jìn)行解決：
　?。?）在常規(guī)的基于激光波數(shù)掃描干涉測(cè)量?jī)x的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)一套基于激光斷續(xù)波數(shù)掃描干涉